流動床式晶析技術によるＨＦ廃液回収装置「エコクリスタ」
〜凝集沈殿法から流動床式晶析法へ 晶析技術で廃棄物ゼロを実現！〜
- 1.廃棄物ゼロ
- 生成フッ化カルシウムのペレット純度が高く、低含水率のため回収再利用が可能。従来の凝集沈殿法に比較して廃棄物量が1/3に減少。
- 2.処理が安定
- アンモニア、リン酸、ケイ酸（シリカ）等、種々の共存物質の影響を受け難い。
- 3.装置がコンパクト
- 大型の沈殿槽が不要で、ペレット含水率が低く、脱水設備が不要。
- 4.ペレットの取扱いが容易
- 水切れが良く低含水率のため、脱水機のような煩雑な作業が不要。
半導体製造分野
従来法（凝集沈殿法）の問題点（以下）を解決しました。
1.沈殿槽が大型化し、設置面積、設備費等が肥大化
2.脱水ケーキは回収再利用が困難、廃棄物として場外処分するため環境負荷及び処理費用が高い。
＜原理＞
晶析法とは
シード材を充填した円筒状の反応塔内に上向流でフッ素含有排水を通水し、同時に薬剤を注入し、シード材表面にフッ素化合物を晶析させます。
