製品情報 Products information

電子産業向け

有価物回収システム

連続クロマト法PFCオンサイトリサイクルシステム
〜工場から排出される地球温暖化ガスであるPFC(Perfluorocompounds) ガスを効率良く分離・精製し再利用を行う装置です。〜
特徴紹介

・装置はコンパクトなので工場オンサイトへの設置が可能です。
・僅かな消費エネルギー(電気)でPFCの分離・精製が可能です。
・高収率でPFCの分離・精製が可能です。
・様々な種類のガス分離にも適応が可能です
 (PFC以外にも可能)。

PFCオンサイトリサイクルシステム
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適用分野

半導体製造分野

本製品は、オルガノのクロマト分離技術紹介 にて、詳細を掲載しております。

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