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TMAH回収装置

現像廃液からTMAHを高効率、高純度で回収します

  • 電子産業

現像廃液からTMAH（水酸化テトラメチルアンモニウム）を高効率、高純度で回収します。処理液は現像液として再利用されるので、薬液購入費用の大幅な削減と、環境負荷の低減が可能となります

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