製品・サービスProducts & Service

TMAH回収装置

現像廃液からTMAHを高効率、高純度で回収します

  • 電子産業

現像廃液からTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)を高効率、高純度で回収します。処理液は現像液として再利用されるので、薬液購入費用の大幅な削減と、環境負荷の低減が可能となります

スペック