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過酸化水素モニター

OROXIDE(オルオキシド)シリーズ

超純水中にある過酸化水素の常時監視を可能にします。

  • 電子産業
  • 化学・素材・機械

半導体及び電子産業向け超純水製造設備
(超純水中の過酸化水素を常時監視)

OROXIDE(オルオキシド)シリーズ 

特長

超純水中の過酸化水素を常時監視

超純水中には微量の過酸化水素が含まれています。

最先端半導体プロセスの製造工程に影響を及ぼす過酸化水素を常時監視することができます。

OROXIDEリーフレット