ωの良い点
常に高いレベルが要求される、
高久氏の研究。
それらに応えた、
ピューリックωの良い点とは？
高久 ωの良い点というのは、とりあえず”小型装置の割にはプラントレベルと同じ純度の超純水が採水できる”という。あとうちではそれほど重要性はないが、”TOCのコントロール”ができるというのがよい。分析業界ではニーズがあると思う。
西村 プラントレベルというお話を頂きましたが、それは半導体洗浄に使用されるプラント向け超純水というでしょうか？
高久 そのとおりである。専門的だが、いわゆる”32メガ・64メガ”という少し前のDRAM製造ラインで使用されているような超純水が採水できるということになる。そのレベルの水がこの小型超純水製造装置でできるということはメリットだ。
西村 あとTOCというお話を頂きましたが、このような小型機器においてもTOC管理やコントロールは必要とお考えでしょうか？
高久 そのプラントレベルの装置でTOCの管理を行っているところや、有機系分析、特に微量有機分析を行っているところでは、このTOCがコントロールできるというのは重要になってくる。
ωの良い点
ωの最大の特長であるTOCの低減(TOC≦1ppb)について、
”コントロール(制御)ができる”
という言葉でお話し頂きました。お話しを聞いているとまさに半導体の技術進化と共に水質も進化していることがわかりました。
次では、高久氏が考えるピューリックω推奨の理由をお聞きします。
純水分野で著名な研究者である、公益財団法人環境科学技術研究所 高久雄一氏にピューリックωについて伺った。
