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「最も期待されていたことは、超純水の安定供給と安定稼働でした」と、営業のY.H.がRapidusさまからオルガノに課せられたミッションについて口火を切った。半導体製造において、超純水はウェーハの洗浄をはじめ極めて重要な役割を果たす。薬液や汚染物を取り除き、洗浄工程で最後にウェーハに接触する液体だからこそ、不純物の混入は許されない。「野球のドームスタジアムに埃一つないレベルで、異物があると動作不良を引き起こしてしまいます。極限の清浄さを保つ超純水を、24時間止めることなく供給し続けることは容易なことではありません」とY.H.は強調する。 求められた水質も、これまでの実績の延長ではなかった。2nmという次元すら超え、Rapidusさま向けに最高水準のスペックが求められた。サブプロジェクトマネージャーのS.Y.は「パーティクル、イオン、メタル、有機物といった不純物の排除がどれか一つ優れていれば良いのではなく、すべての項目で世界最高水準のスペックを満たす必要がありました」と語る。 試行錯誤する中で、突破口となったのは自社の開発センターの存在だった。プロジェクトマネージャーのS.O.は 「超純水の高純度化を突き詰めてきた開発のメンバーと検討を重ね、研究で培った技術を実際のプラントとして成立させるシステムを構築していきました」と語る。その言葉に、プロジェクトの難しさと、それを乗り越えようとする現場の強い意志が滲む。

最高水準の水質とともに、求められていたのは超純水の安定供給だった。その品質を管理し、安定した供給を続けるために採用されたのが、オルガノの加工受託契約である。Y.H.がその仕組みを説明する。 「加工受託契約では、当社が設備を保有し、運転管理、メンテナンス、さらには突発的なトラブル対応までを担います。単に設備を納めて終わるのではなく、水処理のプロフェッショナルとして稼働を見守り続ける体制で、お客さまに大きな安心をお届けするためのミッションの一つと位置付けています」 オルガノが納入した設備をお客さまが管理し、オルガノがメンテナンスや遠隔監視でサポートする通常のサービスとは、大きく異なる。設備の初期投資を抑えて年間の定額費用で利用できることに加え、社内の人材をコア業務である製造に集中させられる点も、Rapidusさまにとって大きなメリットとなる。日本発の次世代型半導体製造拠点を支えるために、オルガノは水の供給に関わる責任を総合的に担っている。

超純水の安定供給と水処理システムの安定稼働を支えているのは、設備だけではない。人が現場に常駐し、日々のわずかな変化も見逃さない運転管理体制によって安定供給が可能になる。千歳事務所長のT.M.が業務内容を紹介する。 「オルガノの社員を中心に交代制で運転管理にあたり、24時間365日体制で臨んでいます。１日２回の巡回では運転データを取りながら、音や水漏れなどの異常がないかを確認します。管理室のモニターでは、設備の稼働状況、水の流量や圧力、警報が出ていないかを確認し、異常の際は原因と対処を一つずつ見極めていきます」 オルガノには遠隔監視によるオンライン運用システムがある。それにもかかわらず、なぜ人の現場常駐が必要なのだろうか。T.M.の答えは明快だった。 「スピードが求められるからです。IIMにおける水処理システムの重要度は極めて高く、異常発生時には迅速に対応しなければなりません。夜間も休日も対応の遅れは許されません。だからこそ、遠隔監視ではなく現地常駐が必須なのです」 運転管理に必要なことは「当たり前のことを当たり前にやっていくこと」だとT.M.は語る。慢心せず、予兆に気づく感度を保ち、お客さまへの報告や連絡を怠らない。24時間365日の現場常駐とは、こうした日々の積み重ねによって信頼を築く、人だからこそ担える取り組みでもある。

「スピードです」Y.H.はRapidus IIMプロジェクトにおける最大の難関をそう言い切る。 「通常であれば、水処理棟が完成し設備を整えた上で純水・超純水の供給へと進むところを、Rapidusさまから一刻も早く水を供給してほしいという要請がありました。世界に対してどこよりも早く最先端の半導体製品を提供するという使命感のもと、すぐにでも試作を始めたい強い意志があったのだと思います。その挑戦を水のパートナー企業として支えるために、半導体の製造棟内に仮設で水処理設備を収めることになりました」とY.H.は語る。 柔軟な施工能力と工期短縮が求められたが、工期を前倒しするには、当初の予定を組み換え、現場の働き方を変える必要があった。そのスピード感に建設の現場で向き合ったのが、現場代理人のT.I.である。 「何よりも重視したのは、お客さまが定めたマイルストーンにいかに追随できるかでした。凍てつく北海道の冬でも工事を進めなければ間に合いません。施工前から物流や資材置き場の確保を含め、万全の準備を整えて臨みました。水処理設備を製造棟に収めるために、半導体製造にとって天敵の振動への対応も求められ、関連する元請け各社との調整も多く、施工コントロールは非常に難しかったです」とT.I.は言う。 そして、このスピード感に対処するために、S.O.は社内調整に奔走した。長時間労働への規制や人材不足など、課題は山積していた。 「長時間労働規制を理由に、できませんとは言いたくありませんでした。そこで上層部へ掛け合って一時的に人員を増やし、工程の効率化を進めました。ただ、スピードだけを優先すればよいわけではありません。技術、工程、人員、お客さまの要望を見極めながら、全体として成立する形を探ることが、プロジェクトマネージャーとしての役割でした。時にはお客さまと対話を重ね、現実的な落としどころを見つけることも必要でした」とS.O.は言う。 異例のスピード感とは、情熱だけで突っ走ることではない。現場対応力、社内調整力、そして実現に向けたお客さまとの対話力によって支えられる挑戦である。

異例のスピード感に加え、もう一つの重要なテーマとなったのが水資源への対応だった。半導体製造では大量の超純水が不可欠である一方、限りある水資源とどう向き合うかという視点が欠かせない。今後の生産規模の拡大を見据えると、エコやリサイクルの考え方を取り入れながら、オルガノがこれまで扱ったことのない規模の水を回収し、再利用していく必要が生まれている。 S.Y.はこう説明する。「超純水を作るために自然の水源から取水しますが、その原水には限りがあります。だからこそ、工場内で使用した水を回収し、再利用するシステムを構築する必要がありました。排水を水質や水量に応じて振り分け、超純水の原水として再利用する回収設備や、冷却塔・除害装置などの用水として再利用する設備を導入して、取水量の削減につなげています」単に排水を処理して放流するのではなく、使える水を見極め、再び必要な場所へ戻していくのである。 その規模は、オルガノ単独の技術や設備だけで対応しきれるものではない。水の循環率を高めるためには、実際に水を使用する製造プロセス側との連携が欠かせない。Y.H.は「Rapidusさま、半導体製造装置メーカーさま、オルガノの３社で協議し、検討を始めています。可能な限り再利用できる水を見つけ出して、オルガノのリサイクル技術で処理をして、適材適所に戻す取り組みを進めています」と話す。 １度使った水を可能な限り工場内で循環させることが、この取り組みの核心だ。北海道の豊かな自然環境への影響をできる限り抑えるために、使って終わりではなく、水を資源として回し続ける。その挑戦はRapidusさまの思いとも重なりながら、次世代半導体製造の足もとを確かなものにしている。

Rapidus IIMプロジェクトの特徴の一つに、若いメンバーの存在がある。「周りの企業は役員や部長クラスの決定権を持つ経験豊富な関係者が並ぶ中で、オルガノは我々若手が前面に立ち、現場を動かしていきました。これはチャレンジングなことでした」と皆が口をそろえた。 若いチームに求められたのは、経験の差を埋める判断の速さと現場での調整力、そして何より水のプロとしての矜持だった。T.I.が当時の心情を吐露する。 「オルガノの代表としてどう振る舞い、立ち回ればプロジェクトを前に進められるのか。会議の席では各社のキーマンの声のトーンから視線の移動まで逃さないように見て、アプローチの仕方を変えていきました。国家的プロジェクトを担うためにベテランの方が集まる中で、我々の若いチームがいかに役割を果たせるかを常に考えていました」という。 その姿勢をチーム全体が共有していた。若さはウイークポイントではなかった。プロジェクトのスピードに食らいつき、周囲との関係を築き、プロジェクトの現場を前進させる大きな力となった。

Rapidus IIMプロジェクトは水処理設備も過半数が稼働し、安定供給を続ける段階に入った。運転管理も本格的に始まる中、５人のメンバーが、それぞれの立場からプロジェクトに込めた思いや達成感を振り返った。

Rapidus IIMプロジェクトは、いまも進化の途上にある。IIM1からIIM2へ、さらにその先へ。日本の半導体産業の未来を支える挑戦が続く限り、オルガノはその現場に寄り添い、水のパートナー企業であり続ける。その使命を胸に、オルガノはこれからも、Rapidusさまとともに歩み続けていく。